低溫甲醛蒸汽滅菌適用于不耐濕、熱的診療器械、器具和物品的滅菌，如電子儀器、光學儀器、管腔器械、金屬器械、玻璃器皿、合成材料物品等。低溫甲醛蒸汽滅菌包括預熱、預真空、排氣、蒸汽注入、濕化、升溫，反復甲醛蒸發、注入，甲醛穿透，滅菌（在預設的壓力、溫度下持續一定時間），反復蒸汽沖洗滅菌腔內甲醛，反復空氣沖洗、干燥、冷卻，恢復滅菌倉內正常壓力。甲醛為有毒致癌物，在安裝及使用時應遵循生產廠家使用說明書或指導手冊，設置專用的排氣系統，避免有毒氣體或液體的殘留或泄露，低溫甲醛滅菌的質量與包裝材料、被滅菌物品的材質與重量、裝載量相關，在使用該滅菌方式前需注意檢查待滅菌物品與滅菌方式的匹配性。

目前，應用于醫院內的滅菌方式越來越多元化，更加安全環保，但是無論是哪種滅菌方式都需要嚴格按照滅菌器的操作說明書進行規范化的操作，并依據國家衛生健康委員會頒布的行規標準進行質量過程的控制與結果的分析，以保證滅菌質量的可靠性，最終達到預防與控制醫院感染的目的。